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PRODUCTS
产品中心
FSU-8光刻胶(FSU-8 negative fluorinated photoresist)
规格:本产品符合以下指标
Specification:Meet the following criteria
项目 Project
指标 Index
外观
Appearance
无色透明液体
Colorless transparent liquid
折射率(n20D)
Refractive Index(n20D)
1.5154
光损耗
Optical loss
0.21dB/cm(1550 nm)
粘度(pa.s,25℃)
Viscosity(pa.s,25℃)
250
匀胶厚度(μm)
Film thickness(μm)
0.5-200
聚合度
Degree of polymerization
4-8
包装 Packaging
100ml、250ml、500ml
新型的含氟FSU- 8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶,具有传统SU-8光刻胶的优点:适合于制备高深宽比微结构,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形;它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性。FSU- 8 含有大量的C-F键,可以进一步的增加材料的耐腐蚀性、耐候性,并且在通讯波长(850、1310、1550nm)具有极低的光学损耗、低双折射率、高稳定性。材料的折射率在1.483~1.588范围内可调,适宜于制作阵列式光波导、光栅、直型波导等光通信、调制、传输等器件。