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PRODUCTS
产品中心
FSU-8光刻胶（FSU-8 negative fluorinated photoresist）
规格：本产品符合以下指标
Specification：Meet the following criteria
项目 Project
指标 Index
外观
Appearance
无色透明液体
Colorless transparent liquid
折射率（n20D）
Refractive Index（n20D）
1.5154
光损耗
Optical loss
0.21dB/cm（1550 nm）
粘度（pa.s,25℃）
Viscosity（pa.s,25℃）
250
匀胶厚度（μm）
Film thickness（μm）
0.5-200
聚合度
Degree of polymerization
4-8
包装 Packaging
100ml、250ml、500ml
新型的含氟FSU- 8 胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶，具有传统SU-8光刻胶的优点：适合于制备高深宽比微结构，可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形；它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性。FSU- 8 含有大量的C-F键，可以进一步的增加材料的耐腐蚀性、耐候性，并且在通讯波长（850、1310、1550nm）具有极低的光学损耗、低双折射率、高稳定性。材料的折射率在1.483~1.588范围内可调，适宜于制作阵列式光波导、光栅、直型波导等光通信、调制、传输等器件。